
热反射法薄膜导热系数测量仪NanoTR & PicoTR
热反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如热扩散系数(Thermal Diffusivity)、热导率(Thermal Conductivity)、吸热 系数(Thermal Effusivity)和界面热阻。
本文将对热反射法薄膜导热系数测量仪NanoTR/PicoTR进行详细功能介绍。
—— 热反射法 - 为纳米级薄膜应用量身定做的激光闪射法导热仪
产品技术参数
深圳市和粒科技有限公司(Hollysw),西门子工业软件金牌代理商、西门子EDA、Altair、耐驰仪器授权代理商,提供工业仿真EDA/CAE软件与可靠性热测试、热分析仪器。
技术参数:NanoTR
为纳秒级热反射法导热仪,可测量微米、纳米级厚度薄膜的热扩散系数。

温度范围: RT,RT ... 300°C(选配)
样品尺寸:10×10 ... 20×20mm
热扩散系数:0.01 ... 1000mm2/s
测量模式: RF/FF
薄膜厚度: 30nm ... 20μm(取决于材质和测量模式)
主激光脉冲宽度: 0.5ps
技术参数:PicoTR
为皮秒级热反射法导热仪,可测量亚微米、纳米级厚度薄膜的热扩散系数。

温度范围: RT,RT … 500°C(选配)
样品尺寸: 10×10 ... 20×20mm
热扩散系数: 0.01 ... 1000mm2/s
测量模式: RF/FF
薄膜厚度: 10nm … 900nm(取决于材质和测量模式)
主激光脉冲宽度:0.5ps
基本功能
TR基本功能

丰富的附件选择
加热台
气密样品室
样品移动台
可追溯的标准
对于不透明薄膜+透明基体的组合,NanoTR和PicoTR可以直接测试薄膜的热扩散系数,除此以外的其他所有组合,如透明薄膜+不透明基体,有Mo材质(CRM 5808-a,用于PicoTR)和TiN材质(RM 1301-a,用于NanoTR)的标准物质,这些标样由AIST提供,确保对标准的可追溯性。
附表
NanoTR & PicoTR技术参数表

深圳市和粒科技有限公司(Hollysw)总部位于深圳,在上海、苏州、北京、武汉、成都、佛山设有办事处,是西门子工业软件中国区金牌代理商(具备西门子专业技术认证)、西门子EDA代理商、Altair软件授权代理商、耐驰(NETZSCH)仪器中国代理商。可提供Star-ccm+、Flotherm、Floefd、Amesim、Flomaster、Simcenter 3D、Calibre、Questa、Hypermesh、Hyperworks、Optistruct、RapidMiner、Simsolid等工业软件;同时供应T3Ster SI热阻测试仪、POWERTESTER功率循环测试设备、LMS振动噪声测试系统、TMA热机械分析仪、DMA动态热机械分析仪、DSC差示扫描量热仪、STA同步热分析仪、TGA热重分析仪、旋转流变仪、LFA闪射法导热仪、热流法导热系数测量仪,面向汽车电子、消费电子、电力电子、新能源、材料领域,提供软件方案、测试仪器、系统集成、设备调试与工程咨询服务